原子层沉积设备

仪器分类：工艺实验设备>电子工艺实验设备>电子产品通用工艺实验设备

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米真空互联实验平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： Picosun R200

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X射线光电子能谱仪

仪器分类：分析仪器>X射线仪器>X射线能谱仪

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米真空互联实验平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： PHI 5000 VersaProbe II

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扫描电子显微镜（含能谱仪）

仪器分类：分析仪器>电子光学仪器>扫描电镜

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米真空互联实验平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： Nova NanoSEM450

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超高真空溅射台

仪器分类：工艺实验设备>电子工艺实验设备>电子产品通用工艺实验设备

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米真空互联实验平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： SPUTTER-24

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多通道相参本振

仪器分类：工艺实验设备>电子工艺实验设备>其他

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米真空互联实验平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： M9347AH01

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超高真空多腔体镀膜系统

仪器分类：工艺实验设备>电子工艺实验设备>其他

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米真空互联实验平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： MEB550SL3

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太赫兹量子级联激光器

仪器分类：其他仪器>其他仪器>其他仪器

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米真空互联实验平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号：非标

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手套箱兼容的原子力显微镜

仪器分类：分析仪器>显微镜及图像分析仪器>扫描探针显微镜

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米真空互联实验平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： MFP-3D Origin+

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无液氦稀释制冷机专用部件-底部快速换样

仪器分类：物理性能测试仪器>其他>其他

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米真空互联实验平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号：无

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超高真空制备腔

仪器分类：其他仪器>其他仪器>其他仪器

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米真空互联实验平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： PRE-001

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超高真空管道-手动全金属角阀

仪器分类：其他仪器>其他仪器>其他仪器

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米真空互联实验平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号：非标

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自研特色化约瑟夫森结制备设备-薄膜真空计...

仪器分类：其他仪器>其他仪器>其他仪器

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米真空互联实验平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号：非标

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真空精密位移台

仪器分类：其他仪器>其他仪器>其他仪器

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米真空互联实验平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： Omniax

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纳米真空互联管道与传输系统（补充）

仪器分类：其他仪器>其他仪器>其他仪器

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米真空互联实验平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号：非标

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纳米真空互联管道与传输系统（2）

仪器分类：其他仪器>其他仪器>其他仪器

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米真空互联实验平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号：非标

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