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ICP等离子体刻蚀机（III-V）
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米加工平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Plasmalab System 100 ICP 180
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等离子体增强化学气相沉积机
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米加工平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Plasmalab System100
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ICP等离子体刻蚀机（深硅）
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米加工平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： STS MPX HRM System
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等离子体增强化学气相沉积机(旧)
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米加工平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： 5000 PLATFORM
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激光共聚焦拉曼光谱仪
仪器分类： 分析仪器>光谱仪器>拉曼光谱仪
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 创新实验室
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： LabRAM HR Evolution
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